性别： 男
邮箱：
办公室： S212
人才称号： 院士
最终学位： 工学博士
办公电话：
导师资格： 博导
研究领域：
长年从事微纳加工、芯片制造核心工艺和设备的研发。详见深圳大学半导体制造研究院官网：/kxyj/yjjg/bdtzzyjy.htm
主讲本科课程：
主讲研究生课程：
教育背景：
工作履历：
主持项目：
代表期刊论文 ：
代表会议论文：
代表专利：
代表著作：
获得荣誉：
主要学术兼职：
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